光伏芯片化學氣象沉積制程上下貨系統
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產品名稱: 光伏芯片化學氣象沉積制程上下貨系統
產品型號: Model 3772
產品展商: Chroma
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
通常用于晶片常壓化學氣象沉積制程。在常壓化學氣象沉積制程中，致茂可提供自動化上下晶片的傳輸設備，并以破片率小于0.1％，高產量和低成本的特性來滿足客戶對常壓化學氣象沉積制程功能要求。
光伏芯片化學氣象沉積制程上下貨系統
的詳細介紹
主要特色：
- 破片率：< 0.1%
- 產量：> 2400 pcs/hr
- 上貨載具：Cassette
- 下貨載具：Cassette
